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　　SC-UV系列紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。

　　紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

　　功能特点：

　　机身整体采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀，美观大方

　　抽屉式样品台，取、放基板简单、方便

　　预留进气接口，丰富设备的清洗种类

　　抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害

　　按键定时器，数显倒计时，放便直观

　　清洗工作进程可以任意时间手动终止

　　可选臭氧中和器，避免臭氧伤害

　　技术指标：

　　清洗波段：185nm和254nm

　　距离UV灯3-5mm平均光强：28~32mW/cm2

　　灯管：双波低压汞灯

　　灯管功率：150W

　　照射区域：150mm×200mm

　　可调照射距离：5~40mm

　　定时器工作范围：0~99min99s 具有自动倒计时功能

　　进、出气口：进气口：φ8mm，出气口：φ25mm

　　设备外型尺寸：250mm（W）×300mm（D）×260mm（H）

　　托盘外型尺寸：160mm（W）×200mm（D）×5~30mm（H）

　　产品重量：8 KG

　　可选配带加热功能：SC-UV-I+型号